石墨坩埚

锥形接口规划：

原理：经过上下坩埚的锥形接口彼此嵌合，使用锥面的自锁效应完成密封。当坩埚受热胀大时，锥形接口的接触压力增大，密封效果更佳。

应用：常用于需求频频开合的坩埚体系，如高温熔炼或化学气相沉积（CVD）设备。
法兰衔接密封：

原理：在坩埚口部设置法兰，经过螺栓将上下法兰压紧，中心夹持密封垫片（如石墨纸、金属垫片或陶瓷纤维垫片）完成密封。

特点：密封压力大，适用于高压或高温环境，但需定时检查螺栓紧固力矩以防止松动。

螺纹密封：

原理：在坩埚口部加工外螺纹或内螺纹，经过螺纹的旋合完成密封。螺纹空隙可填充耐高温密封胶（如硅酸盐基或氧化铝基胶）以增强密封性。

应用：适用于小型坩埚或需求快速拆装的场景。